金属有机化合物化学气相沉淀（MOCVD） 是个啥？

以热分解反应方式在衬底上进行气相外延。通常MOCVD系统中的晶体生长都是在常压或低压(10-100Torr 下通H2的冷壁石英(...

启示号 3年前 233 0

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