为什么说28纳米光刻机是一个解决光刻机困局的幻觉？

ASML推出第一代浸没式DUV光刻机的时候，包括当年推出的浸没式DUV预生产型号™ XT：ASML以大约2年一代的速度对浸没式D...

启示号 1年前 189 0

#纳米#节点#精度