所谓“28nm光刻机”究竟是何物？造全球60%芯片，ASML卖出1400台

这些光刻机可支持的制程工艺覆盖上至130nm，目前世界上有60%以上的芯片使用DUV光刻工艺制造，都采用了掩膜对准投影式曝光的技...

启示号 1年前 407 0

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